高纯度熔融石英产品

属性

熔融石英

7980标准等级

7980KrF准分子等

7980ArF准分子等级

7980镜面等级

7980工业等级

7979红外等级

8655ArF准分子等级

可见光透射率

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紫外线透射率

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红外线透射率

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使用轴 AA、A、C、F（按尺寸）认证均匀性

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内含物等级认证 0、1、2、5 级

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条纹认证 ISO 10110-4 第 5 级（无）

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均匀性认证 离轴 AA、A、C、F 级（按尺寸）

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低双折射

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抗紫外线激光（数据可索取）

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经济型（除可见光透射率外无任何性能认证。适用于工装应用。）

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夹杂物等级

均匀性 [ppm]

等级

等级

总夹杂物横截面[mm2]

最大尺寸[mm]

AA
≤ 0.5

A
≤ 1

B
≤ 1.5

C
≤ 2

D
≤ 3

E
≤ 4

F
≤ 5

G
NS5

0

≤0.03

0.10

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1

≤0.10

0.28

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2

≤0.25

0.50

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3

≤0.50

0.76

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4

≤1.00

1.00

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5

≤2.00

1.27

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