微小喷嘴激光加工系统
- 产品编号 : AT-61163
- 类别： 光学检测分析设备
- 产品描述：
一、产品特点
1.高能量密度高稳定紫外激光直接烧蚀气化材料，μm级热影响区，最小 5μm加工光斑
2.高分辨率相机配合高精度直线电机驱动平台，用于工件圆孔中心亚微 米级高精度对准
3.高分辨率相机配合精密Z轴实现高精度的对焦，保证加工工艺稳定可重 复
4.亚微米级跳动主轴夹持工件旋转，实现高速高精度高光洁度微小加工
5.辅助W轴，可实现直孔、倒锥孔加工
6.系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选 配以保证长期精度
7.最小加工孔径5μm,孔型可控，锥孔、直孔均可加工，深宽比>10:1
二 技术参数
|
类别 |
参数 |
FM-UVD7 |
|
激光器 |
波长 |
355nm |
|
功率 |
>7W@40 kHz（3~40 W可选） |
|
|
XY工作台 |
行程 |
300*300mm |
|
定位分辨率 |
0.1μm |
|
|
重复精度 |
≤±1μm |
|
|
定位精度 |
≤±3μm |
|
|
Z轴 |
行程 |
200mm |
|
重复精度 |
≤±3μm |
|
|
定位精度 |
≤±5μm |
|
|
W轴 |
角度范围 |
±10° |
|
CCD监测定位 |
相机 |
500万像素 |
|
光学倍率 |
10X |
|
|
主轴 |
圆跳 |
<1μm |
|
加工能力 |
最小光斑 |
5μm(10μm可选) |
|
孔径精度 |
±3μm(孔径<0.5mm,深度<0.5mm) |
|
|
重复精度 |
≤±1μm |
|
|
加工材料 |
玻璃、有机物、金属、陶瓷等 |
|
|
冷却 |
水冷 |
|
|
吸尘 |
三重粉尘净化 |
|
|
电力 |
220V 50~60Hz |
|
|
功耗 |
≤2000W |
|
|
尺寸 |
1200*1600*1900mm |
|
|
重量 |
1200Kg |
|
|
注：恒温（25±0.5℃），预热30分钟之后获得 |
||
二、应用领域
1. 汽车工业
· GDI 喷油嘴：加工直径 50-200μm 的喷孔，提高燃油雾化效果，降低油耗与排放U.S. Energ...
· 柴油喷油嘴：加工直径 30-100μm 的微孔，实现高压喷射，提升发动机动力性能U.S. Energ...
· 尿素喷嘴：加工直径 100-300μm 的喷孔，确保尿素溶液均匀喷射，满足国六排放标准
2. 航空航天
· 航空发动机燃油喷嘴：加工直径 50-150μm 的微孔，适应高温高压环境，提高燃烧效率
· 火箭推进剂喷嘴：加工直径 100-500μm 的微孔，实现推进剂精确控制，提升推力稳定性
· 无人机雾化喷嘴：加工直径 50-200μm 的微孔，用于农药喷洒、消防灭火等领域
3. 医疗设备
· 雾化器喷嘴：加工直径 10-50μm 的微孔，实现药物雾化，提高治疗效果
· 微流控芯片喷嘴：加工直径 5-50μm 的微孔，用于生物样本分析、药物筛选等领域
· 介入器械喷嘴：加工直径 10-30μm 的微孔，用于血管内药物输送
4. 电子与精密仪器
· 喷墨打印头喷嘴：加工直径 10-30μm 的微孔，提高打印分辨率与色彩均匀性
· 传感器喷嘴：加工直径 50-200μm 的微孔，用于压力、流量传感器的压力平衡与流体控制
· 光学仪器喷嘴：加工直径 5-50μm 的微孔，用于光学元件清洗、冷却等系统
